电子产品用高纯石英砂SJ/T 3228.3-2016——第3部分:烧灼失量的测定
中华人民共和国电子行业标准《电子产品用高纯石英砂》第3部分——烧灼失量的测定
标准编号:SJ/T 3228.3-2016
标准状态:现行有效
本标准由中华人民共和国工业和信息化部2016年1月15日发布,2016年6月1是开始实施。
前言
SJ/T 3228系列标准计划分下列部分:
——SJ/T 3228.1 电子产品用高纯石英砂 第1部分技术条件;
——SJ/T 3228.2 电子产品用高纯石英砂 第2部分分析方法通则;
——SJ/T 3228.3 电子产品用高纯石英砂 第3部分灼烧失量的测定;
——SJ/T 3228.4 电子产品用高纯石英砂 第4部分二氧化硅的测定;
——SJ/T 3228.5 电子产品用高纯石英砂 第5部分铁的测定;
——SJ/T 3228.6 电子产品用高纯石英砂 第6部分铜的测定;
——SJ/T 3228.7 电子产品用高纯石英砂 第7部分铬的测定;
——SJ/T 3228.8 电子产品用高纯石英砂 第8部分铝的测定;
——SJ/T 3228.10 电子产品用高纯石英砂 第10部分铅的测定。
本部分为第3部分。
本部分按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。
本部分代替SJ/T 3228.3-1989。
本部分与前一版本相比、主要技术内容变化如下:
——增加了仪器和设备、试验环境和报告;
——分析步骤中修改了称样量,明确了平行测量次数,细化了称样步骤。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本部分由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出并归口。
本部分起草单位:工业和信息化部电子工业标准化研究院、国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所。
本部分主要起草人:程尚栩、栾振祥、许振午、薄雷明、李建德、冯亚彬、管琪。
本部分所代替标准的历次版本发布情况为:
——SJ/T 3228.3-1989。
1 范围
本部分规定了高纯石英砂灼烧失量的测定方法。
2 规范性引用文件
试样中所含吸附水、碳酸盐、有机物以及其它易挥发性物质,经高温灼烧即分解挥发逸出。灼烧所损失的质量即为灼烧失量。
3 仪器和设备
使用仪器设备包括:
a) 分析天平:精确度为0.1mg;
b) 铂金坩埚;
c) 马弗炉:最高温度应大于等于:1100℃
d) 烘箱;
e) 干燥器。
4 试验环境
试验环境要求如下:
a) 温度:20℃±2℃。
b) 相对湿度:45%~65%。
5 分析步骤
5.1 取两个铂金坩埚在1000℃±10℃下灼烧至恒重,称量,精确至0.1mg。
5.2 准确称取适量经110℃烘干不少于2h的试样两份,精确至0.1mg,置于铂金坩埚中。
5.3 将装有试样的铂金坩埚置于马弗炉中,在1000℃±10℃下灼烧1h。
5.4 从马弗炉中取出装有试样的铂金坩埚,在干燥器中冷却至室温,称量,精确至0.1mg。
5.5 继续在1000℃±10℃下灼烧20min,重复5.4。
5.6 反复灼烧试样直至恒量。
6 结果计算
6.1 根据公式(1)计算试样的灼烧失量。
X=(m1-m2)/m×100%(1)
式中:
X——试样的灼烧失量,%;
m1——灼烧前铂金坩埚及试样的质量,g;
m2——灼烧后铂金坩埚及试样的质量,g;
m——试样的质量,g。
6.2 取两份试样灼烧失量的算术平均值,保留两位小数。
7 报告
报告至少应包括以下内容:
a) 样品名称、规格和编号;
b) 送样单位和送样日期;
c) 测量环境;
d) 试样重量;
e) 测量结果;
f) 操作者、审核者、测量日期、测量单位。